超短脈沖激光微加工指的是利用脈沖寬度在皮秒致飛秒量級的脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切或微觀改性。從材料性能變化來說，可分為表面形貌。折射率、離子價態、相態、缺陷態、晶態、化學鍵以及能帶結構等的修飾與調控。

 

超短脈沖應用加工領域有：印刷電路、LED、醫療器械、太陽能電池、液晶顯示基板、微光機電系統等 

1、加工尺寸更小；

2、可實現高精度的非熱熔型加工；

3、能克服等離子體屏蔽作用和摻雜、缺陷對激光吸收影響；

4、加工過程只與被加工材料院子特征有關，不受特性影響

相對于傳統的激光打標、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細加工還屬于新興市場。未來十年內超短脈沖激光技術在全球將會有250億美元的市場，平均每年有超25億元的市場。隨著超短脈沖激光器件趨向更加成熟的工業應用，超短脈沖激光微納加工技術將開拓更為廣闊的應用領域，成為諸多行業不可或缺的利器，為科技造福社會創造更為美好的明天。